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台阶仪
 
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技术特点

 KLA-Tencor  AlphaStep轮廓仪配置自动台,采用了新型光学反射探测系统来测量高度,同时应用电磁力控制探针压力,能有效的实现超微力和低惯量 。这些创新型使表面轮廓仪能够无伤测量软薄膜样品。

系统参数

1. 样品台直径:200mm

2. 扫描长度范围:30mm

3. 分辨率:横向100nm,垂直0.38

4. 垂直测量范围:10埃至1.2mm

产品应用

发展系列探针轮廓仪是一台计算机控制的高灵敏的表面轮廓仪,可测量台阶高度,粗糙度和波纹度,及许多其他应用。

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